SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

產(chǎn)品簡介
SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化
其 “鋁制輕量化" 優(yōu)勢場景價值：閥體采用高品質鋁合金材質打造，經(jīng)精密加工與硬質陽極氧化處理，在保證結構強度的同時大幅降低重量，相比同規(guī)格鑄鐵閥門減重約 40%，不僅便于真空系統(tǒng)的管路布局與設備集成，還能減少安裝工位的承重負荷，尤其適配需要頻繁調整或移動的真空設備（如半導體晶圓傳輸機構、小型真空鍍膜機），降低設備運行時的振動干擾，間接提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

產(chǎn)品型號：XLD-40K-M9

更新時間：2025-11-06

廠商性質：經(jīng)銷商

訪問量：102

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產(chǎn)品分類

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泵閥類

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品牌	SMC/日本	應用領域	環(huán)保,化工,能源,鋼鐵/金屬,綜合

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC 日本氣動真空閥 XLD-40K-M9 是一款聚焦 “鋁制輕量化" 與 “精密真空控制" 的專業(yè)閥門，專為半導體制造、真空鍍膜、光伏設備等高精度真空系統(tǒng)設計，憑借輕量化結構性能，成為工業(yè)真空場景中高效控流的核心元件。

其 “鋁制輕量化" 優(yōu)勢場景價值：閥體采用高品質鋁合金材質打造，經(jīng)精密加工與硬質陽極氧化處理，在保證結構強度的同時大幅降低重量，相比同規(guī)格鑄鐵閥門減重約 40%，不僅便于真空系統(tǒng)的管路布局與設備集成，還能減少安裝工位的承重負荷，尤其適配需要頻繁調整或移動的真空設備（如半導體晶圓傳輸機構、小型真空鍍膜機），降低設備運行時的振動干擾，間接提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

在核心真空控制性能上，該閥門表現(xiàn)突出：采用波紋管密封結構，配合高精度加工工藝，泄漏量低至 1.3×10?1?Pa?m3/s，可有效維持系統(tǒng)高真空度，避免外部氣體滲入影響工藝效果；支持二段流量控制與初始排氣可調功能，能根據(jù)真空系統(tǒng)的不同工況（如初始抽真空、穩(wěn)定保壓、工藝排氣）精準調節(jié)流量，既防止泵體過載，又提升排氣效率，45L/s 的大導納設計進一步保障中高流量場景下的控流響應速度。

適配性與細節(jié)設計同樣貼合工業(yè)需求：采用氣動驅動方式，先導壓適配 0.4-0.7MPa 工業(yè)常用氣壓，可快速實現(xiàn)閥門常閉 / 開啟狀態(tài)切換，且支持與自動化控制系統(tǒng)聯(lián)動，滿足生產(chǎn)線無人化操作需求；提供 KF 法蘭連接方式，安裝便捷且密封可靠，適配多數(shù)真空管路規(guī)格；耐溫范圍覆蓋 5-60℃，能適應真空系統(tǒng)烘烤工藝等溫度波動場景，同時具備氟氣耐受特性，可應對部分腐蝕性氣體環(huán)境。

此外，該閥門在安全性與耐用性上優(yōu)勢顯著：無重金屬污染設計符合半導體、光伏等行業(yè)對潔凈度的嚴苛要求，避免污染物影響產(chǎn)品質量；均勻烘烤溫度設計減少閥體因溫度不均產(chǎn)生的形變，延長密封部件壽命。無論是半導體晶圓防污染加工、真空鍍膜設備的精準控壓，還是光伏真空系統(tǒng)的高效排氣，這款鋁制輕量化氣動真空閥都能以穩(wěn)定性能與便捷適配性，助力真空系統(tǒng)實現(xiàn)高效、可靠運行。

上一個：C-1KITZ日本高真空氣動蝶閥真空密封結構